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政府采购意向公告
中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | 中国科学院微电子研究所 | 自动光学检测系统 | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100800-计量仪器_A02100805-颗粒度测量仪器 | 详见项目详情 | 420.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 2 | 中国科学院微电子研究所 | 化合物半导体CMP系统 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 350.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 3 | 中国科学院微电子研究所 | 表面活化晶圆键合设备 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 800.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 4 | 中国科学院微电子研究所 | 碳膜磁控溅射系统 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 200.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 | 超高温热处理系统 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 328.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 6 | 中国科学院微电子研究所 | 固体激光剥离机 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 489.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 7 | 中国科学院微电子研究所 | 离子束整形机 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 875.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 8 | 中国科学院微电子研究所 | 气体团簇离子束抛光系统 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 365.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 9 | 中国科学院微电子研究所 | 微波等离子体化学气相沉积系统 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 500.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。