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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-自动光学检测系统 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 自动光学检测系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 自动光学检测系统 |
| 预算金额： | 420.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100800-计量仪器_A02100805-颗粒度测量仪器 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆表面的颗粒和表层缺陷会影响键合工艺的质量，表现在：颗粒和缺陷越多，晶圆的键合率越低，有效的键合面积越少，后续器件制备的良率就会低。颗粒和缺陷会对键合材料的可靠性造成较大隐患，存在颗粒和缺陷的键合界面在受到器件制备或可靠性试验中的温度冲击下容易形成解键合的风险。颗粒和缺陷会影响键合材料的性能，含有颗粒和缺陷的材料界面电阻和热阻都与正常界面不同，器件工作过程中电、热流在通过该处时会引发电、热流的分布不均，进而影响器件的性能，甚至提前烧毁。必须通过前期测量评估初始表面状态。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。