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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-碳膜磁控溅射系统 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 碳膜磁控溅射系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 碳膜磁控溅射系统 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 碳膜生长设备主要用于界面加固工序中使用。在衬底剥离后，在GaN外延层表面上溅射生长一层碳膜保护层。在高温退火过程中防止晶圆表面重构 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。