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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-离子束整形机 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子束整形机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 离子束整形机 |
| 预算金额： | 875.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 离子束表面矫形（Ion Beam Figruing，IBF）是一种用等离子体技术刻蚀实现导体薄膜材料精密修整、晶圆面型修整、材料局部去除的工艺方法。与传统的研磨MP相比，气体束流的优势在于提供了低损伤、低应力和选区表面处理的工艺实现方案。相较而言，利用气体束流进行表面处理，由于横向溅射效应，去除量较低的条件下就可以降低表面粗糙度到nm量级，由于非接触处理，对表层晶格损伤较低，同时伴随着辐照过程的暂态退火效应也会进一步修复表面晶格损伤，因此可以获得更好的表面状态。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。