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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积系统 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 微波等离子体化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 金刚石是如今备受关注的第三代半导体材料之一，具有优异热学、电学和力学性能的材料，被认为是下一代芯片的理想选择之一。本项目中的键合衬底主要采用金刚石。目前多晶和单晶金刚石的生长工艺主要采用微波等离子体化学气相沉积（ Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition ，MPCVD）设备。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。