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中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-固体激光剥离机 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 固体激光剥离机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 固体激光剥离机 |
| 预算金额： | 489.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 在W波段GaN材料功率器件上实现高频率高功率效果的新型途径，就是通过异质集成工艺，即将不同基底材料上的晶体管通过材料异质键合技术制备成新型结构的电路。在异质键合工艺进行之前，要将室温键合后的SiC（GaN）和金刚石衬底材料在一起的不同材料,通过激光脉冲剥离的方式，将蓝宝石支撑材料与SiC（GaN）和金刚石键合后的衬底材料分离开。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。