A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备

气体团簇离子束（Gas Cluster Ion Beam， GCIB）是将气体团簇离子化并加速形成的稳定离子流代替了研磨料和化学药液进行表面抛光的方法。气体团簇的原子数从几个到几千，甚至上万，由气体原子通过范德瓦尔斯力结合形成。经电子碰撞离子化的气体团簇离子通常仅带一个正电荷，该离子在电场中加速获得能量。这种特殊离子在与固体表面相互作用时，会产生不同于单原子离子的特性，例如高溅射效率、横向溅射效应、高温度压力冲击区、表面退火效应、高化学刻蚀效率等。由于团簇中每个原子的能量较低，所以这些效应都发生在非常浅的表面区域，有效降低了离子注入效应造成的表面损伤。