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政府采购意向公告
中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | 中国科学院微电子研究所 | 非接触霍尔测试仪 | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100600-试验仪器及装置_A02100699-其他试验仪器及装置 | 详见项目详情 | 200.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 2 | 中国科学院微电子研究所 | 电子束曝光机年度维保 | C-服务_C23000000-商务服务_C23120000-维修和保养服务_C23129900-其他维修和保养服务 | 详见项目详情 | 180.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 3 | 中国科学院微电子研究所 | 光刻机维修部件 | A-货物_A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330500-电工、电子生产设备零部件 | 详见项目详情 | 180.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 4 | 中国科学院微电子研究所 | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | C19010000-技术测试和分析服务 | 详见项目详情 | 1100.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100100-自动化仪表_A02100199-其他自动化仪表 | 详见项目详情 | 2200.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 6 | 中国科学院微电子研究所 | 光刻掩膜版 | C19990000-其他专业技术服务 | 详见项目详情 | 575.000000 | 2026年05月 | 详见项目详情 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。