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中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向-光刻机维修部件 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机维修部件 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻机维修部件 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330500-电工、电子生产设备零部件 |
| 采购需求概况 ： | 光刻机上因为故障损坏或性能衰退，导致机台不能正常运行或不能达成技术指标的部件，需要更换，以保证机台正常工作。采购标的需满足机台原厂备件技术指标，并提供安装调试服务，保证更换备件后机台正常运行。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。