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中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向-12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 2200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02100000-仪器仪表_A02100100-自动化仪表_A02100199-其他自动化仪表 |
| 采购需求概况 ： | 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜，主要用于极小尺寸图形的线宽量测，需具备快速自动量测能力，其主要工艺指标包括：量测分辨率：1.65nm量测重复性：0.12 nm具备量测边缘放置误差的能力；本次共采购1台，需在2026年10月完成安装。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。