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中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向-电子束曝光机年度维保 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束曝光机年度维保 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机年度维保 |
| 预算金额： | 180.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C-服务_C23000000-商务服务_C23120000-维修和保养服务_C23129900-其他维修和保养服务 |
| 采购需求概况 ： | 电子束曝光机为先导中心项目的必要工艺设备。为保障项目的顺利推进，需要保障电子束曝光机的正常运行。电子束曝光机属于高精密设备，需定期进行专业维护才能正常运行。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。