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中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向-光刻掩膜版 详细情况
2026年02月26日 10:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻掩膜版 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻掩膜版 |
| 预算金额： | 575.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C19990000-其他专业技术服务 |
| 采购需求概况 ： | 质量满足各工艺节点的掩模版分辨率及质量要求。服务方在收到用户数据之后，三周内完成不同工艺节点的掩模版制作。目标加工0.5um工艺节点，0.35um工艺节点，0.25um工艺节点，0.18um工艺节点，0.13um工艺节点的掩模版。用于12英寸和8英寸工艺平台器件流片加工使用 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。