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政府采购意向公告
中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向
2026年04月02日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | 中国科学院微电子研究所 | 激光隐形切割成套设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 1000.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 2 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋晶圆等离子划片机 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 1880.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 3 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋晶圆级无机红外拆键合设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 5300.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 4 | 中国科学院微电子研究所 | 热压剥离机 | A02100503-工艺试验机 | 详见项目详情 | 350.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 | 微光显微镜分析系统 | A02100305-电子光学及离子光学仪器 | 详见项目详情 | 290.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 6 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋硅锗硅超晶格叠层外延系统 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 7500.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 7 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋高深宽比工艺氧化硅填充化学气相沉积系统 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 5237.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 8 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋干法去胶机 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 900.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 9 | 中国科学院微电子研究所 | 12吋化学纯气态各向同性干法刻蚀机 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 3140.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
| 10 | 中国科学院微电子研究所 | 光刻机用涂胶显影机 | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02339900-其他电工、电子生产设备 | 详见项目详情 | 7000.000000 | 2026年06月 | 详见项目详情 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。