当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向-光刻机用涂胶显影机 详细情况
2026年04月02日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光刻机用涂胶显影机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻机用涂胶显影机 |
| 预算金额： | 7000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02339900-其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 光刻机用涂胶显影机，主要用于浸没式光刻工艺中的涂胶，显影，烘烤以及正背面清洗等，需满足以下指标：旋转转速：最高转速4000转/分钟，转速精度1转以内；
旋转加速度：最高加速度30000rpm/秒，精度7%以内；
具备浸没式光刻后冲洗功能
具备晶圆背部清洗功能
具备负显影工艺能力；
本次采购1台，需在2026年10月份完成安装。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。