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中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向-热压剥离机 详细情况
2026年04月02日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 热压剥离机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 热压剥离机 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503-工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 热压剥离机，通过衬底剥离过程中对表面提供压力实现断裂界面和衬底表面压力调控，从而提升大尺寸薄层剥离的完整性，提高SiC复合衬底制备可靠性，降低失效风险，拟采购1台，设备验收合格率100%，服务对象满意度≥90%，按照计划进度执行 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。