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中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向-12吋干法去胶机 详细情况
2026年04月02日 17:25 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12吋干法去胶机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 12吋干法去胶机 |
| 预算金额： | 900.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：12吋干法去胶机，三维器件的晶体管沟道会采用环栅（GAA）方式，沟道间牺牲材料将采用SiGe，因此相对非三维器件引入了新的元素Ge，为避免研发三维器件与现有非Ge工艺产生交叉污染，所以需要新购干法去胶机。采购数量1台。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。