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中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向-离子刻蚀机 详细情况
2025年02月08日 18:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 离子刻蚀机 |
| 预算金额： | 810.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：离子刻蚀机
主要功能：
用于实现8英寸基片上的高密度、小尺寸存储器件的均匀刻蚀。
采购标的数量：1台
质量要求：
1、单器件尺寸优于50nm，间距低于200nm；
2、离子束源和基片表面相对角度：10-170度可调；
3、具备元素分析功能，实时监测被刻蚀元素含量；
4、可精确控制复杂结构功能层材料的刻蚀深度和刻蚀选择比。
服务、安全、时限等要求：
提供设备验收合格后1年质保。提供符合现场实际情况的设备安装方案。设备订单生成后1年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。