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政府采购意向公告
中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向
2025年02月08日 18:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2025年4至6月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | 中国科学院微电子研究所 | high-K介质电感耦合等离子体刻蚀设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 900.000000 | 2025年06月 | 详见项目详情 |
| 2 | 中国科学院微电子研究所 | 干法去胶机 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 200.000000 | 2025年06月 | 详见项目详情 |
| 3 | 中国科学院微电子研究所 | 高深宽比横向湿法刻蚀设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 1210.000000 | 2025年06月 | 详见项目详情 |
| 4 | 中国科学院微电子研究所 | 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 3800.000000 | 2025年04月 | 详见项目详情 |
| 5 | 中国科学院微电子研究所 | 离子刻蚀机 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 810.000000 | 2025年05月 | 详见项目详情 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。