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西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向-激光直写光刻机 详细情况
2026年02月13日 20:31 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安理工大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:激光直写光刻机 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:可实现半导体材料的无掩膜曝光功能。 需满足的要求:要求直写速率高，高分辨率，能够实现MEMS、功率器件等工艺的亚微米曝光工艺。 |
| 预计采购时间： | 2026-03 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。