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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-晶圆平整度检测系统 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 晶圆平整度检测系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 晶圆平整度检测系统 |
| 预算金额： | 209.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 样品尺寸：2，3，4，6，8；
？ 测量参数：BOW，warp，TTV；
？ 测量重复性：<1.5微米；
？ 可测量衬底材料：Si, GaAs, InP, SiC, sapphire, fused silica；
？ 自动化程度：手动放片。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。