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纳米光电子器件研究平台是电子科技大学光电科学与工程学院的特色研究平台，平台建设瞄准微纳光电子世界科技前沿和国家重大需求，结合我校光电子、微电子、通信等学科优势，开展基础性、战略性和颠覆性的探索和技术攻关，解决信息光电子领域的技术瓶颈，培育国家级科研成果。本项目拟采购等离子增强化学气相沉积系统1套、磁控溅射薄膜沉积系统2套、开文探针原子力显微镜1台、场发射电镜与电子束光刻系统1台、快速退火炉1套、电子束蒸发镀膜仪1台、台阶仪1台、台式扫描电镜1台、小型工作站1台、飞秒激光器1台、中红外光谱仪1台、感应耦合等离子体刻蚀机1台、反应离子刻蚀机1台、高精度划片机1台、普通光刻机1台、高清金相显微镜1台。供货时间需满足国产设备4个月以内、进口设备12个月以内、质保期至少1年以上。