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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-电子束蒸发（金属） 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束蒸发（金属） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发（金属） |
| 预算金额： | 285.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1. 系统组成：1个生长主腔， 1个进样腔，由自动机械手臂进行传送样；
？ 样品尺寸：单片最大8寸向下兼容；
？ 主腔本底真空：<5E-7 Torr;
？ 电子枪功率：60kW；
？ 坩埚数目/容量：6x15cc；
？ 薄膜指标：膜厚均匀性优于±3%。
2.
数量: 1套
质保期: 1年以上
售后维保:国内必须设有维护点;26小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。