A02052402真空应用设备

采购标的名称：离子溅射微尺度清洁系统。采购标的需实现的主要功能：离子溅射微尺度清洁系统用于配合变温高速扫描隧道显微镜系统对样品进行预处理，并在样品测试过程中清洁样品，以保证扫描隧道显微镜原子分辨测试时能得到真实、稳定的图像及相关物理和化学信息。采购标的数量：1。采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：技术参数要求： 1、 真空：制备腔和分析腔真空：压强≤2×10 -10 mbar；快速进样腔：压强≤5×10 -9 mbar 。2、 真空泵：分析腔1个离子泵，抽速≥230升/秒，和1个钛升华泵；制备腔1个涡轮分子泵，抽速≥260升/秒以及前级无油干式机械泵；快速进样腔一套前级无油干式机械泵和Pfeiffer HiPace 80涡轮分子泵。3、 快速进样腔配单路进气 。4、 样品台：配备四轴高精度样品台，可电子束加热，最高温度≥1000℃；可液氮降温，最低温度≤150K。5、清洁离子源： 配备样品清洁离子源，可适用Ar, Ne等气体，光斑直径至少可覆盖10 mm，范围粒子能量≥5 keV，离子束流≥20 μA 。6、腔体: 分为三个腔体，包括制备腔，分析腔和快速进样腔。7、 减震: 配备减震模块，降低腔体间震动的相互影响。技术文件：全套用于安装、操作、维护技术文件；主机、各功能部件的基本结构和使用说明书，维修保养说明书；软件操作手册；设备图纸和电子版说明书。服务要求：在仪器抵达客户所在实验室前，供应商需对所在实验室进行机械振动和电磁干扰测试，检验实验室条件是否适合放置该仪器。供应商负责在客户所在地的设备安装、调试、培训。设备调试、验收须按照有关国际标准和规范及投标方中标时所提供的技术要求进行。同时提供设备的出厂检验报告和质量合格证书。供货期11个月。