当前位置：采购意向项目详情
zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-激光直写光刻机 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 激光直写光刻机 |
| 预算金额： | 480.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100309激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 为了测试硅锗异质结基片的迁移率，我们需要在基片表面制作hallbar结构，由于hallbar结构较大对电极精度要求不高，因此可以通过使用激光直写设备，利用其曝光速度快的优点，可以在较短时间内完成，因此激光直写设备能大幅提高实验效率，有利于推动实验进度。 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。