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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-原子层沉积系统 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021099其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 我们希望购置一台ALD设备，能够实现硅通孔的TiN侧壁与晶圆表面的生长，实现生长的薄膜中Ti与N比例接近1：1，而且TiN衬里的超导转变温度高于超导量子比特的正常工作温度，为最终实现超导硅通孔工艺提供支持。在售后若有仪器损坏、需要维修维护、更换零件等等希望厂家能提供服务帮助，仪器本身应该保证危险气体不泄露，仪器应在一年内到货并组装完成投入使用。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。