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哈尔滨工业大学（深圳）晶圆浓度测试仪意向公开-晶圆浓度测试仪 详细情况
2025年04月15日 11:05 来源： 深圳市政府采购网 【打印】
| 晶圆浓度测试仪 | |
| 项目所在采购意向： | 哈尔滨工业大学（深圳）晶圆浓度测试仪意向公开 |
| 采购单位： | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 采购项目名称： | 晶圆浓度测试仪 |
| 预算金额： | 217.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 物理特性分析仪器及校准仪器 |
| 采购需求概况 ： | 用于测量晶圆或外延层的掺杂浓度和均匀性。测量方式：接触式无损Mapping；测试范围：1E14~1E19 carriers/cm3；测试点位接触重复性：1≤0.2%（面积）；施加偏压范围不低于 /-220V。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。