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政府采购意向公告
哈尔滨工业大学（深圳）晶圆浓度测试仪意向公开
2025年04月15日 11:05 来源： 深圳市政府采购网 【打印】
哈尔滨工业大学（深圳）晶圆浓度测试仪意向公开
| 采购单位: | 哈尔滨工业大学（深圳） |
| 项目名称: | 晶圆浓度测试仪 |
| 预算金额（元）: | 2,170,000.000 |
| 采购品目: | 物理特性分析仪器及校准仪器 |
| 采购需求概况: | 用于测量晶圆或外延层的掺杂浓度和均匀性。测量方式：接触式无损Mapping；测试范围：1E14~1E19 carriers/cm3；测试点位接触重复性：1≤0.2%（面积）；施加偏压范围不低于 /-220V。 |
| 联系人: | 简老师 |
| 联系电话: | 0755-26401954 |
| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | 无 |