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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-碳化硅材料专用减薄机 详细情况

2023年05月05日 10:46 来源: 中国政府采购网 打印

碳化硅材料专用减薄机
项目所在采购意向: zycgr210708012023年4至12月政府采购意向
采购单位: zycgr21070801
采购项目名称: 碳化硅材料专用减薄机
预算金额: 198.000000万元(人民币)
采购品目:
A021099其他仪器仪表
采购需求概况 :
名称: 碳化硅材料专用减薄机;数量: 1台;主要功能: 用于分子键合后减薄碳化硅衬底材料;目标:转速0~4000RPM,工作台转速0~260RPM,Z轴进给速度0.1~1000um/s,厚度在线测量分辨率0.1um。 质保期: 1年以上。售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应
预计采购时间: 2023-07
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。