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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀机（InP） 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子体刻蚀机（InP） | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机（InP） |
| 预算金额： | 486.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.系统组成：1个刻蚀主腔，1个进样腔，由自动机械手臂进行传送样；
？ 样品尺寸：单片刻蚀，8寸向下兼容；
？ 下电极温度：至少包含20 ~ 250°C；
？ 反应气体：氢气、甲烷、氯气、溴化氢、氩气、氦气、氧气、六氟化硫；
？ 刻蚀指标：磷化铟材料刻蚀深度10微米情形下，刻蚀机角度90±1°，刻蚀侧壁在扫描电镜观测下，无明显起伏。
2.
数量: 1套
质保期: 1年以上
售后维保:国内必须设有维护点;36小时维修响应; |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。