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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 超高真空多功能多腔体电子束蒸镀系统 |
| 预算金额： | 630.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 加工制备高质量量子芯片，需要专用的高真空镀膜系统，包括预真空进样腔体、超高真空蒸镀腔体、氧化腔体等 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。