A02052401真空获得设备

采购标的名称：磁屏蔽超高真空系统。采购标的需实现的主要功能：该定制化系统设计用于提供超高真空的实验条件，最大限度降低实验过程气体分子的影响；同时配置磁屏蔽装置，隔绝外界磁场，保证为进行各种高精度的实验测试提供无磁环境。采购标的数量：1。采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：技术参数要求：1.双腔体设计，并配置进样腔用于样品从大气环境进入超高真空环境。2.一个腔体为不锈钢腔体，配1台离子泵 (抽速≥75升/秒) 和1台钛升华泵；3. 一个腔体为无磁mu金属腔体，用于隔绝外界磁场，保证无磁实验环境。配置1台涡轮分子泵 (抽速≥260升/秒，型号HIPACE 300)、1台前级无油干式机械泵 （峰值抽速不小于10000 升/小时）、1台离子泵(抽速≥150升/秒)和1台钛升华泵；4. 配置四轴样品台（包括X、Y、Z位置确定和样品沿轴转动），平动运动范围满足传样和进行样品清洁以及各项测试实验的合适距离要求；样品架可对样品进行加热，加热温度范围不小于：室温至1370 K；配有K型热偶，可以精确测量样品温度。5. 系统配置全套泵组及真空测量装置。6. 腔体最高烘烤温度150 ℃，在完全烘烤后，不锈钢腔和磁屏蔽腔本底真空均优于2×10^-10mbar；快速进样腔本底真空均优于5×10^-9mbar。7.配置多个法兰口，用于系统接入多种测量仪器或装置。8. 配有样品传输的磁力传输杆和机械钳，可实现样品在各个腔体之间的传样；9. 若干个空余法兰(Blank flanges) 留待进一步安装蒸发源、若干个视窗（Viewport）用于监控样品传输以及将样品放置于做各种测试和处理的理想位置；10. 进样腔配三路进气系统，可腔内加热至700 K，且配备单独烘烤装置。技术文件：全套用于安装、操作、维护技术文件；主机、各功能部件的基本结构和使用说明书，维修保养说明书；软件操作手册；设备图纸和电子版说明书。供货期11个月。