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电子束蒸发镀膜机是目前国内外研究用于制备半导体功能器件介质膜的基本设备，是保证器件性能研究处于世界领先水平的物质前提。该设备是一个先进的半导体光电功能器件的研究平台，可以真空镀膜，适用于制备多种重要的化合物半导体器件，包括太阳能电池、光电探测器和晶体管等。 此设备集成度高，特别适用于实验室，而且带有手动和自动两种操作模式，可自由切换，操作简单。采用全模块化部件高度集成，控制柜集成在蒸镀腔室下方，整体设计都有理论模型的支持，包含源的布局位置、相应的晶振探头的位置和朝向、样品台的高度、真空出口位置等等都有理论模拟数据。模块化设计更加方便后期的维护，可以大大提高工作效率。设备整体外观美丽整洁，占地面积小，节省实验室空间。设备稳定性高， 可重复性较好，能够有效的对不同材料进行稳定、均匀蒸镀，得到高质量的功能薄膜。 该设备不仅非常适合研究需要，还能够针对本科生的教学使用。另外，校内目前还没有性能优良的双电子束蒸镀设备，能够实现高真空、高性能、高精度镀膜控制、具有高集成性的系统。所以无论是从教学还是开展新材料、新器件、新工艺和新产品研发上，购买此台设备都很有必要。此设备不仅承担着实验室繁重的科研工作，对提高本单位及区域内的相关领域的科研水平具有积极作用，还对整个薄膜领域的发展起到推动作用。 基于上述论述，本此采购的一台双电子束蒸发镀膜机，该设备需满足以下指标： 1. 可装载直径6 英的样片，兼容小尺寸及异性样片； 2. 腔室真空度可达9E-8 Torr； 3. 配2套6 × 7cc电子枪，带扫描模式，扫描路径可自行编辑； 4. 样品台带旋转、加热和升降功能； 5. 蒸发速率优于0.1A/s，膜厚分辨率可达0.01 Å，薄膜不均匀性≤±5%； 此外为了更好地维护，该设备需要免费质保1年，有十年以上经验工程师提供售后服务，在国内有专门的售后团队及备件库，售后服务响应时间不超8小时，终身提供免费电话、邮件技术咨询服务，可提供远程服务。

兰 伟 18709466171