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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-电子束直写曝光机 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束直写曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电子束直写曝光机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 电子束直写曝光机对于课题项目的开展，是不可或缺的设备。2采购标的1台。核心质量为：1）电子束成像分辨率≤0.7nm@15kV，≤1.2nm@1kV；2）光路中配置静电电子束束闸和基于PCI技术的图形发生器硬件，扫描频率为6 MHz；3）配置五轴马达驱动样品台，最大移动行程X轴≥125mm，Y轴≥125mm，Z轴≥50mm；质保一年以上。 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。