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兰州大学2022年10至12月政府采购意向-物理学院/等离子体增强化学气相沉积与材料处理系统 详细情况
2022年10月09日 10:35 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 物理学院/等离子体增强化学气相沉积与材料处理系统 | |
| 项目所在采购意向： | 兰州大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 兰州大学 |
| 采购项目名称： | 物理学院/等离子体增强化学气相沉积与材料处理系统 |
| 预算金额： | 80.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备A02062001工业电热设备（电炉），A02052404真空系统附件 |
| 采购需求概况 ： | 名称：等离子体增强化学气相沉积系统
需实现的主要功能或目标：购置一台能够满足实验室的科研需求－材料制备种类（除氧化物，金属，多元氧化物、生物聚合物材料等）的要求的原子层沉积设备，不仅可以支持该课题组的国家重大科研项目，同时也支持实验室其他课题组中需要制备厚度精确可控纳米薄膜与纳米结构与器件的相关科研项目，对与提升学院在相关领域的影响力具有不可替代的作用。目前实验室实施CVD的设备为石英管式炉，并且在实验室用途较为杂乱，难以满足器件应用所需单晶材料的生长与制备，因此需要功能齐全的专用制样设备。等离子体增强的CVD设备较之普通管式炉，对温度的调控容差范围更大，能够满足大面积单晶的制备要求。购置时无特殊要求 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | 高大强 18919871198 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。