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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-高分辨X射线测试设备 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高分辨X射线测试设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 高分辨X射线测试设备 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100304光学测试仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于为硅基半导体量子芯片的材料平台进行无损精确表征，为得到高质量材料提供表征验证基础，需要达到以下条件：
1、可进行在线无损测量晶体薄膜的 SiGe, Ge, strain Si 的厚度，Ge 组分，薄膜应变、弛豫度、半高宽，缺陷密度，倒易空间图形等表征参数。
2、其空间分辨率优于1角秒。
3、满足最大8英寸的样品进行无损测量。
本系统需要采购一台。配套可在电脑端进行独立控制的软件。需提供设备的安装、使用培训、以及设备的质保维修服务。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。