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西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向-扩散控制系统 详细情况
2026年02月13日 20:31 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 扩散控制系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安理工大学 |
| 采购项目名称： | 扩散控制系统 |
| 预算金额： | 98.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:扩散控制系统 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:用于小批量半导体集成电路、分立器件4/6英寸硅片氧化\扩散工艺。 需满足的要求:可完成硼扩散、磷扩散，氧化等功能。设备需要满足气路的全自动控制，控制系统为工控计算机系统，具备完备的报警功能。 |
| 预计采购时间： | 2026-03 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。