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zycgr210708012023年4至12月政府采购意向-电感耦合等离子刻蚀机 详细情况
2023年05月05日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012023年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子刻蚀机 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备用于对硅基半导体材料进行刻蚀，以形成特定的沟道结构，需满足以下条件：
1、支持最大基片尺寸8英寸及以上；
2、支持多种反应气体，不小于4种；
3、批内和批间刻蚀均匀性不超过±3%； |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。