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广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年05月至2026年06月政府采购意向-光学镀膜机 详细情况
2026年05月14日 14:58 来源： 广东省政府采购网 【打印】
| 光学镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年05月至2026年06月政府采购意向 |
| 采购单位： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
| 采购项目名称： | 光学镀膜机 |
| 预算金额： | 370.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:光学镀膜机 标的数量:1 主要功能或目标:在各类光学玻璃和晶体上镀制减反射膜、高反射膜、分光膜、滤光膜及其他多层光学薄膜。目标是实现高精度、高稳定性的多层光学薄膜自动蒸镀工艺，满足高端光学元件制造需求。 需满足的要求:1.真空性能：极限真空<7.0E-5Pa，恢复真空15分钟达1.3E-3Pa； 2.核心配置：至少配备双10kW电子枪及1000W射频离子源，支持光学与水晶双膜厚监控； 3.设备所处环境温度应在室温18-25℃。 4.成膜验收需达到特定波段平均反射率低于0.85%及滤光片波长变化小于±5nm的指标。 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。