当前位置：采购意向项目详情
zycgr210708012025年12月政府采购意向-氧氮化物分子束薄膜外延系统 详细情况
2025年08月13日 18:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氧氮化物分子束薄膜外延系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 氧氮化物分子束薄膜外延系统 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 氧氮化物MBE系统，背底真空≤2×10？¹？Torr，配置4组蒸发源和RF等离子体源，温区200-1200℃，集成RHEED监控，实现原子级外延（粗糙度<0.2nm），生长速率0.01-2Å/s可调，满足氧氮化物高温超导薄膜的可控制备。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。