A02100309激光仪器

主要技术指标 飞秒激光器 中心波长1030nm，脉宽≤290fs，重复频率10k-200kHz可调，平均功率≥20W，单脉冲能量≥400μJ。 高速脉冲调制模块 可控单脉冲能量调节，器件调节速率 >= 1MHz, 光束调节速率50000脉冲/秒，调节消光比&gt;=100:1。配合软件实现图形灰度输出扫描。 TGV加工 工作波长1028-1064nm，焦深1mm，工作距离9mm，光斑直径1.5um。 支持飞行扫描TGV打孔。 电动台 .2.1 XY为气浮台 .2.2 行程 XYZ >= 100 x100 x 15mm .2.3 重复精度 XYZ&lt;= +/-0.05um .2.4 直线度 XY&lt;= +/-0.05 um, Z <= +/-1.5um .2.5 最小位移量 XYZ&lt;= 5nm .2.6 最大速度 XY&gt;= 100mm/s, Z >= 5mm/s .2.7 整体负载 >= 10KG .2.8 三轴驱控一体控制器，含任意单轴PSO，支持三轴插补。 1030 显微振镜 .2.9 同轴成像模块，6M彩色相机，3072x2048像素，2.4 um像元. 白光LED照明. .2.10 五孔M26 物镜转盘，VIS-NIR 长工作距物镜 .2.11 最小聚焦光斑 <= 0.6 um @ 100物镜。 .2.12 激光焦点与显微成像共焦。 .2.13 振镜扫描线宽 <= 1um，扫描重复精度&lt;= +/-0.1um @50X物镜 .2.14 自动追焦模块, 650nm光束，刷新频率1KHz。追焦范围&gt;= +100um @ 50X 物镜。 软件 a) 一体化控制界面，可以在一个界面控制 位移台，振镜, 相机, 电动衰减，高速能量调制控制模块。. b) 支持自定义轨迹导入。 c) 支持常规图形加工,比如线段, 圆, 矩形，字体，自定义轨迹图形加工。 d) 文件导入 e) 支持矢量图闭合曲线填充. f) 单脉冲能量灰度绑定飞行扫描。 g) 飞行扫描TGV打孔功能。 h) 支持复杂阵列，支持位置/尺寸/角度/功率/偏振等阵列功能编辑。可以通过EXCEL编辑阵列点导入。 i) 任意指定图形选择振镜或位移台选择进行激光加工。 j) 图像及处理：2D(2.5D)加工中，可以使用图像拼接技术对大样品进行图像拼接对位。 合金基材制备系统：电弧熔炼浇铸极限真空：5×10-4 Pa；系统漏率小于5.0×10-7 Pa.l/s；系统从大气开始抽气，20分钟可达到5×10-3 Pa；停泵12小时后腔室压力≤20 Pa；电弧极限电流500 A；浇铸样品重量：200～300 g（以铁计）；冷却方式：水冷：含自动报警；具有封管和退火功能的可拓展性。