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西安工业大学2026年02月至2026年04月政府采购意向-西安工业大学高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统 详细情况
2026年03月04日 10:22 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 西安工业大学高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安工业大学2026年02月至2026年04月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安工业大学 |
| 采购项目名称： | 西安工业大学高真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:真空等离子体增强化学气相薄膜沉积及热丝CVD系统 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)； 系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa； 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa； 工作真空度：1～100 Pa 需满足的要求:项目建设后，基于PECVD低温沉积、高均匀性以及对复杂结构的适应性，可实现薄膜化学成分、厚度（从几纳米到微米级）及结构（如非晶、多晶或梯度层）的精确控制，极大满足柔性电子器件、柔性传感器件、柔性光伏器件的制备需求，促进学校在微电子与半导体制造、光学与光电器件、生物医学工程、新能源与环保等领域的发展。 |
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。