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中国科学院上海有机化学研究所2023年4至6月政府采购意向-椭圆偏振光谱仪（椭偏仪） 详细情况
2023年03月13日 16:45 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 椭圆偏振光谱仪（椭偏仪） | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海有机化学研究所2023年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海有机化学研究所 |
| 采购项目名称： | 椭圆偏振光谱仪（椭偏仪） |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110205集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 探测光刻胶薄膜厚度、光学常数以及材料微结构，探测光刻后的图案形状 |
| 预计采购时间： | 2023-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。