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中山大学2026年5至6月政府采购意向-中山大学分析测试中心白光干涉三维光学轮廓仪采购项目 详细情况
2026年04月28日 19:33 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 中山大学分析测试中心白光干涉三维光学轮廓仪采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学分析测试中心白光干涉三维光学轮廓仪采购项目 |
| 预算金额： | 225.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100399其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.测量技术≥3种，需包含共聚焦、干涉、Ai多焦面叠加
2.观察模式：图像、3D、3D 膜厚；相机像素≥1024x1024px (150 fps)
电动XY平台范围≥125x75 mm 放大倍数范围 2.5X-100X
3.单视野视场：0.14 - 5.6 mm；垂直扫描范围≥20 mm
最大垂直测量范围：共聚焦&Ai多焦面叠加≥12 mm；干涉≥1 mm；最大斜率≥多焦面叠加86°；最大扩展测量范围≥125x75mm；显示分辨率≤0.001nm
4.倾斜台：手动 ±4°倾斜；鼻轮≥6孔电动
LED光源：蓝 (460 nm)，白 (580 nm；中心处)
5.样品反射率：0.05%-100%；最大样品重量≥3kg；最大样品高度≥100mm
台阶精度≤0.5%；台阶重复性≤0.1%
6.配置原位测试配件 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。