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清华大学2022年10至11月政府采购意向-电子束光刻机 详细情况
2022年10月07日 14:09 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 3000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购电子束光刻机2套，在样品表面实现10nm以下图案曝光和三维图形曝光，要求：质保期至少1年；售后服务响应不超过24小时（不区分工作日和节假日）。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。