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中国科学院空天信息创新研究院2025年9月政府采购意向-中国科学院空天信息创新研究院聚焦离子束扫描电镜 详细情况

2025年07月30日 21:10 来源: 中国政府采购网 打印

中国科学院空天信息创新研究院聚焦离子束扫描电镜
项目所在采购意向: 中国科学院空天信息创新研究院2025年9月政府采购意向
采购单位: 中国科学院空天信息创新研究院
采购项目名称: 中国科学院空天信息创新研究院聚焦离子束扫描电镜
预算金额: 441.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100305电子光学及离子光学仪器
采购需求概况 :
采购1台聚焦离子束扫描电镜,实现微传感器样品的聚焦离子束扫描。主要技术指标:电子束系统在优化工作距离下≤0.8nm @ 30kV;≤1.4nm @ 1kV;1.2nm@1kV (BD);离子束系统离子束分辨率≤ 3nm @ 30kV (采用选边法测量);配备透射样品自动取出机械手控制程序与双束控制软件集成在一起,实现一体化
预计采购时间: 2025-09
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。