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中国科学院微电子研究所2025年6月政府采购意向-等离子体增强化学气相沉积设备 详细情况
2025年02月08日 18:58 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体增强化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 1200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备名称：等离子体增强化学气相沉积设备。采购数量；1台。采购标的主要功能：用于生长氧化硅、氮化硅、TEOS氧化硅、a-C薄膜，镀膜均匀性≤±3%，质量、服务、安全、时限：提供8英寸晶圆生长腔体，具备3个腔体生长氧化硅、氮化硅、TEOS氧化硅、a-C薄膜，有8英寸传输平台与片库，提供设备验收合格后1年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后10年内交货安装完成。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。