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zycgr240415012025年7至9月政府采购意向-低压电子束曝光 详细情况
2025年06月04日 22:20 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 低压电子束曝光 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 低压电子束曝光 |
| 预算金额： | 1400.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1、加速电压不低于30KV；
2、写场大于500 μm；
3、最大加工晶圆尺寸不低于4英寸；
4、图形发生器频率不低于20MHZ。 |
| 预计采购时间： | 2025-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。