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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院等离子体刻蚀系统采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院等离子体刻蚀系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院等离子体刻蚀系统采购项目 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 光电材料与国家重点实验室拟采购等离子体刻蚀系统系统一套。主要技术指标：
主要用于刻蚀SiO2\SiNx薄膜、非晶硅薄膜、石墨烯薄膜等；样品尺寸为6英寸并向下兼容；样品台温度为-30~80摄氏度；极限真空为10-6 torr；；射频功率300 W；刻蚀不均匀性：<±5%@6 inch；片间不均匀性：<±3%。交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。交付地点：中山大学广州校区大学城校园纳米楼。售后服务要求：3年质保期。对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。