当前位置：采购意向项目详情
复旦大学2024年10月政府采购意向-激光直写 详细情况
2024年09月20日 19:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光直写 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2024年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 激光直写 |
| 预算金额： | 460.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100309 激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 激光直写是芯片制造流程必不可少的设备之一。由于科学研究自由度高，常规紫外光刻机需要定制光刻板，不能满足科研实验中快速迭代实验方案的需求。激光直写可以兼具光刻和电子束曝光的优点，具有电子束曝光无掩膜直写系统的灵活性和高分辨率，还具有紫外光刻机高速图形化和低成本的特点，可以在一定精度下快速直写曝光。根据目前项目科研实际需求，本项目根据科研需求计划采购两台激光直写。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。