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复旦大学2023年12月政府采购意向-半导体匀胶显影设备采购 详细情况
2023年11月06日 13:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 半导体匀胶显影设备采购 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 半导体匀胶显影设备采购 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本项目拟采购一批半导体加工设备，主要包含匀胶机和显影机，用于半导体光刻流程。匀胶机主要参数包括：转速范围0~10000rpm，可吸附样品尺寸6英寸且向下兼容等。烘烤台主要参数包括：热板单元加热面积为 150x150 毫米，热板加热范围为 25-250 度等。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。